国家依托公司组建真空领域唯一的 国家真空仪器装置工程技术研究中心 和 真空技术装备国家工程实验室 。主要研制各类集成电路装备、薄膜材料制备设备、真空冶金及纳米材料制备设备、超高真空系统集成、国家大科学工程装备、单晶炉、无油真空获得和真空部件。其中，真空获得设备主要性能已达到国际先进水平。
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